外媒传来消息!中科院入局光刻机后,ASML阵脚乱了

随着华为事件的持续发酵,我们逐渐意识到,除了芯片之外,与芯片密切相关的芯片制造设备也同样重要,其中起到关键作用的就是光刻机

只是因为,光刻机不仅是芯片制造设备中最复杂、最精密的设备,其中光刻机还决定了一款芯片可以达到的工艺水平。

之所以我们现在经常可以听到一种叫做EUV型的光刻机,就是因为在7纳米之后,之前的DUV型光刻机已经达到了工艺水平的极限,之后的工艺水平就必须要对光刻机进行更新换代。

目前全球只有荷兰ASML一家公司可以生产EUV型光刻机,所以我们也就可以理解,前段时间中科院表示,要将一批卡脖子的清单变成科研清单,其中就包括光刻机,而从中我们也能看到,EUV光刻机对荷兰之外的所有国家都可以说是一个“卡脖子”的技术。

虽然ASML目前是唯一的可以生产EUV光刻机的厂家,但ASML在EUV型光刻机上就真的实现技术的所有突破了吗?事实上并没有。

其实EUV型光刻机早就已经出现了,只不过一直没有达到可以为代工厂商用的水平,问题的关键,就是光刻机提供的产能性能无法达到要求。

这又是为什么呢?例如在2014年,ASML推出的实验室条件下的EUV光刻机,其产能只有每小时10片晶圆,很显然这样的量产实力,根本无法让台积电等芯片代工厂为客户提供充足的产能,而且毫无疑问的是,成本将会非常高,这样制造出的芯片也无法得到市场的接受。

直到2017年,ASML推出3400B型光刻机后,产能达到了125片晶圆每小时,才算是得到了可商用的门票。

但在之后的2019年,ASML其实还继续推出了一款二代机,它就是3400C,然而这款机型只是一个小幅的升级款,从客户的订单数量来看,出货的主力依然是3400B。

相信近日大家也注意到,三星副会长李在镕亲自到访了ASML总部,当时媒体方面也并没有报道出,李在镕此行的具体目的,只是猜测与EUV光刻机应该有关。

现在韩国媒体已经报道确认了此事,李在镕此行就是了督促ASML,加快速度,尽快的将三星电子订购的9台EUV光刻机实现交货。

很显然,三星方面是着急了,然而巧合的是,ASML方面近日也向外界传出了一个新消息,那就是ASML的三代机即将上市,它就是3600D,预计是在2021年中期,但提供的产能也只比上一代产品提升了18%。

因此我们就看到,尽管这款新品距离上市还有较长的一段时间,但是这款产品依然算是一个小幅升级款,然而之前的3400C已经被市场证明,客户对这种小幅升级款并不感冒。

其原因在于,产能的提升很有限,但是价格方面肯定是要更贵的,而且由于一代机3400B自然生产水平更加成熟,在产能数量上就更有保证,所以3400B更受欢迎也就在情理之中。

既然有了3400C的教训,为何还要急于推出这种升级幅度不大的产品呢?而且这么早就宣布了这样的消息?

不得不说,中科院的入局,让ASML也感到了一定的压力,或许大家并不是对光刻机很了解,在影响光刻机的工艺水平上,上面我们提到了,有DUV和EUV的区别,这主要是指的光源部分。

EUV的光源波长可以做到13.5纳米,而成熟的DUV光源主要是采用的193纳米,波长越短工艺水平就越高。此外,物镜的数值孔径也是影响因素之一,数值越大同样就可以保证光刻机可以提供的工艺水平越先进。

而根据之前媒体的报道称,中科院相关院所早就在这两个方面进行布局,不仅如此,中科院上海光机所联合中科院微电子所,研发出的关键图形筛选技术,也有效地提升了光刻机的分辨率,促进了工艺水平的提升,而且与ASML相比,所获得的工艺窗口优于ASML的同类技术。

所以对于ASML来说,即便有了3400C的先例,也要发布3600D,答案很简单,就是进一步确定自己在EUV光刻机领域的领先水平,或者说是第一的水平。

在高科技领域,保持自己第一的位置太重要了,因为做到第一往往可以拿到更多的市场份额,这样的例子也太多了,例如英特尔与AMD、高通与联发科、台积电与三星,当然ASML本身就是个例子,也就是ASML与尼康。

因此当中科院这个强大的潜在对手出现后,ASML比以往更有了要确定自己领先水平的需求,而从三星和台积电这么迫切的要得到更多的现有水平的光刻机,也说明了这个问题。

因为如果ASML的三代机实现了产能的跨越,例如可以实现媲美DUV的250甚至300片晶圆每小时的产能,三星和台积电还会如此激烈的争抢现有水平的光刻机吗?而且我们反观历史,也没有出现三星和台积电争抢ASML光刻机的先例。

很明显,3600D的象征意义比实际意义要更大,实际上,ASML其实也遇到了类似三星和台积电的问题,就是相关技术的供给太唯一。

ASML也是如此,为了提升光刻机的产能效率,主要的问题在于提升光源供电的功率,而在这方面,ASML目前唯一的选择是Cymer,或者说,只有Cymer可以帮助ASML解决光源功率的问题。

有声音说ASML是在挤牙膏,其实并不是,是真的遇到技术瓶颈需要突破才能实现质的提升。

这就像当年很多人说英特尔是在挤牙膏一样,然而近日英特尔表示,其7纳米工艺再次延期,但目前在消费级市场,AMD的市场份额已经快与英特尔平分秋色,显然英特尔如果真的在挤牙膏,现在已经没有必要那么做了,但是英特尔却再次延期,就已经说明了问题。

ASML也是同样的道理,还有为何近日ASML表示可以向中国出售DUV型光刻机,为何去年的时候不发出这样的声音呢?显然中科院的入局,将会加速国产DUV光刻机的发展速度,这无疑还是打乱了ASML的阵脚。

因为国产DUV光刻机得到市场的接受和认可后,对继续研发EUV光刻机也是有利的,后续客户继续采购中国产EUV光刻机也顺理成章,这就涉及到了供应链,打入供应链同样很重要。

我们承认现在的ASML在光刻机领域是领先的,但ASML也深刻地知道,它实现在行业领先的时间也并不长,未来5年、10年,还能保持现在的领先吗?那么就真的不好说了,所以我们拭目以待。

本文源自头条号:简叔

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