瑞尼·雷吉梅克:光刻机巨头ASML的成功密码和转折点是什么?

在芯片制造环节中,光刻机是核心设备。没有光刻机,半导体或遭断链危机,“摩尔定律”将停止,人类也就无法设计、制造和封装硅芯片。放眼全球,一家叫做ASML(阿斯麦)的荷兰公司市场占有率达80%,是行业的绝对龙头。

而在上世纪80年代,ASML只是飞利浦和ASM合资的一家小公司。但伴随着半导体行业风云变化,短短二十年时间,ASML就将昔日光刻机大国美国和日本拉下神坛。如今,全球7nm及以下工艺的EUV光刻机,只有它能提供。

那么,ASML在光刻机领域快速崛起的原因是什么?其中的重要转折点有哪些?公司的主导者发挥了怎样的作用?另外,为什么走向行业巅峰的只有ASML,而不是尼康、佳能?以及它又为什么没有受到欧美的反垄断调查?

带着这些问题,科工力量采访了《光刻巨人:ASML的崛起之路》作者、荷兰Techwatch媒体公司CEO、荷兰高科技学院董事总经理瑞尼·雷吉梅克(Rene Raaijmakers),揭示ASML不为人知的成功密码和可借鉴之处。

瑞尼·雷吉梅克

采访/科工力量 陈辰】

科工力量:能说一下您为什么要写《光刻巨人》这本书吗?在创作过程中,您对ASML最深切的感受、印象或认识是什么?以及最想与读者分享什么内容?

瑞尼·雷吉梅克:作为荷兰的一名科技作家,我写过很多关于飞利浦的文章。它曾是一家大公司,不仅发明了激光唱片,还是60年代到80年代的音频和电视领域主导者之一。但当我在90年代初开始做记者时,飞利浦是一家非常糟糕的公司。他们没能表现出领导力,没能创新,几乎要破产。

不过,当时ASML开始在芯片光刻技术上取得进展。这非常有趣,因为通过追踪ASML,我能够窥见整个半导体行业的技术发展。而我的优势是,这家公司语言和我相同、距离很近,而且容易接近和很开放。他们经常帮我提供信息,尊重每一次采访。后来,我开始考虑,一旦ASML实现理想和抱负:打败日本人、统治光刻世界,就写一本关于他们的书。

许多人应该对这家公司的以下几点印象深刻。首先,ASML在1984年创立时,排在9到10家光刻厂商的最后一名。但他们后来成功击败了日本供应商尼康和佳能。ASML通常将注意力集中在产品技术和上市的时间点上。而日本厂商虽然拥有更可靠的光刻机,但ASML的设备性能和输出总是更好。

其次,ASML掌握了EUV技术。这是一个漫长而痛苦的过程,但非常复杂的光刻技术最终还是被开发了出来。实际上,由于研发这项技术异常困难,尼康和佳能很早就退出了。与此同时,这也是一项令人难以置信的成就,因为许多半导体行业厂商以及材料、设备供应商都不相信EUV技术能被攻破。

另外,早在1984年,ASML就已经制定了一个愿景:要使公司的营业额达到100万荷兰盾,并且有很好的利润。而目前,每个ASML员工的收入就达到了50万欧元。如果对通货膨胀进行修正,这也是一个相当不错的“小目标”(1984年的100万荷兰盾被修正为现在的100万欧元)。

ASML 最早成立时的简易平房,后面的玻璃大厦是飞利浦。

科工力量:在成立初期,ASML没钱没人没客户,甚至只能在简易木板房工作。那么,在这样的环境下,创始人德尔·普拉多是怎样推动公司发展的?

瑞尼·雷吉梅克:事实上,德尔·普拉多对半导体工业很熟悉,但在光刻方面没有经验。他很少去公司,主要忙于全球业务。就在ASML成立不久后,半导体行业出现了大滑坡,普拉多又忙于应对各种危机。虽然他将ASML视为“宠儿”之一,但公司那时却在流血。

在最初的三年,飞利浦和ASM为ASML投资了1.32亿荷兰盾。但到了1988年初,普拉多已经无法支付ASML高达50%的亏损额。这是因为CEO贾特·斯密特发现公司一有需要时,就会大把花钱。为了在光刻领域成为“头号玩家”,斯密特绝不会去重视节省每一分钱。

科工力量:ASML的首任CEO贾特·斯密特,曾带领公司克服许多困难。您认为,他的核心能力是什么?有哪些具体或典型案例?

瑞尼·雷吉梅克:贾特·斯密特是在正确的时间找到的最佳人选。他在航空航天和电信业都有经验,这两个行业都需要开发复杂的产品和高资本投资。基于此,他认识到,当时全球9到10家光刻机企业,只有少数能生存下来,就像在航空航天和电信行业一样。

另外,斯密特也是一个非常有抱负和自信的人,他学会了用”美国方式”做生意:你必须有一个计划,然后执行它,同时对你的行动负责。书中也有一些谈到(相关事迹)的案例。

科工力量:在二三十年的发展进程中,ASML完成对美日光刻机巨头的逆袭。这其中,ASML的重大转折点有哪些?产生了怎样的意义?

瑞尼·雷吉梅克:ASML仅用2年时间就研制出了PAS2500。在1986年初,这台晶圆步进机(stepper)已经可以生产VLSI一代的芯片。这使他们在市场上站稳了脚跟,并能将设备卖给IDT、Cypress和AMD等小型芯片公司。

PAS5500光刻机

在90年代初,凭借高度模块化的PAS5500,ASML给IBM留下了深刻印象。当时IBM是芯片生产的技术领先者。对其它半导体公司而言,ASML向IBM交付产品释放了一个信号,说明其拥有切实可行的技术。而在1994年前后,当三星抛弃尼康成为ASML的客户时,它的成功故事才真正开始。

到了90年代后期,ASML开发出了Twinscan产品。这是一种双工作台光刻机,极大地提高了芯片生产效率,更促成英特尔和日本公司开始使用ASML的技术。再到后来,伴随着EUV技术的发展,ASML逐步垄断了最先进的芯片生产设备。

科工力量:您最近将ASML成功因素总结为:管理层的出色领导,良好的团队精神,以及注重听取客户意见的企业文化等。那么,除此之外,ASML成功的外部因素有哪些?

瑞尼·雷吉梅克:我喜欢这个问题,但很少有人会问到。

第一,1984年至1986年的经济衰退,导致市场领导者GCA退出。这家公司一度几乎破产,由于美国将其技术纳入国家战略,才得以继续存活。第二,通过欧洲基金和荷兰政府早期的补贴,ASML获得了大量资金。飞利浦和ASM在前3年向其投资了1.32亿荷兰盾。第三,芯片公司对最先进技术的需求。那么谁先掌握新技术,谁就能赚几十亿收入。

科工力量:美国曾允许ASML加入EUV LLC联盟,收购SVG、Symer等公司,而且投入大量资本。后来有人认为ASML是“半个美国公司”,这种观点您是否认同?原因是什么?

瑞尼·雷吉梅克:是的,这是真的。ASML一半是欧洲的,一半是美国的。它的主要股东也是美国人。

EUV工艺光刻出的晶圆样品

科工力量:ASML研制出EUV光刻机后,进一步确立行业霸主地位,全球市场份额达到80%以上。但为什么它在荷兰、欧洲或者美国,几乎都没有受到反垄断调查?

瑞尼·雷吉梅克:在我看来,这是因为ASML只是超越了竞争对手。它没有买下竞争对手成为主要玩家,也没有利用自己的力量将其他玩家挡在市场之外。这与人们在Facebook和谷歌身上看到的情况不同。

另外,光刻机的市场竞争环境也是开放的,任何人都可以自由进入开发设备。但几乎没有人会这样做,因为制造它实在太难了,而且进入成本太高了。

科工力量:ASML曾向中国出售了一台EUV光刻机,但由于美国限制导致出口计划搁浅。据您了解,荷兰政府是否还有可能通过出口许可?

瑞尼·雷吉梅克:荷兰政府不会自行采取行动。没有美国政府的同意,它不会做任何事情。这也是因为ASML属于“半个美国公司,半个欧洲公司”。

科工力量:ASML在中国许多城市已经设立了分公司,今年5月又与无锡签署战略合作协议,扩建升级基地。但在当前国际形势下,您认为,ASML将来是否会继续加码中国市场?

瑞尼·雷吉梅克:在不久的将来,如果计算系统销售的数量,我认为中国将成为ASML最大的客户。而当ASML开始向中国销售EUV光刻机时,中国未来肯定会成为ASML最大的市场。因此,ASML会持续关注和投入中国市场。

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